大口径シリコンウェハースライシング用ワイヤソーの開発

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 1998-01-01

著者

• 牧野 国雄

  (株)日平トヤマ

• 絹谷 一朝

  (株)日平トヤマ新規事業部設計部

関連論文

• ワイヤソーの性能向上
• マルチワイヤソーを用いた切断加工の実際
• 大口径シリコンウェハースライシング用ワイヤソーの開発
• 最新のワイヤソーの構成と性能

スポンサーリンク