プローブカード用(半導体検査部品)快削性セラミックスの開発と実用化

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概要

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• 2010-09-01

著者

• 中川 邦昭

  (株)フェローテックセラミックス

• 寺尾 公一

  (株)フェローテックセラミックス

• 衛藤 俊一

  (株)フェローテックセラミックス

• 蓮村 幸寛

  (株)フェローテックセラミックス

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