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プローブカード用(半導体検査部品)快削性セラミックスの開発と実用化
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概要
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2010-09-01
著者
中川 邦昭
(株)フェローテックセラミックス
寺尾 公一
(株)フェローテックセラミックス
衛藤 俊一
(株)フェローテックセラミックス
蓮村 幸寛
(株)フェローテックセラミックス
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