混合ガスおよび供給ガス変動による省電力DC-RFハイブリッドプラズマ流動システムにおける球状化プロセスの高性能化

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概要

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• 2010-08-26

著者

• 西山 秀哉

  東北大流体研

• 西山 秀哉

  東北大学流体科学研究所

• 高奈 秀匡

  東北大流体研

• 張 柱〓

  東北大院

• 高奈 秀匡

  東北大学 流体研

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