マイクロインデンテーションとウェットエッチングによるガラス表面の微細加工

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概要

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• 日本接着学会の論文
• 2009-09-01

著者

• 斉藤 靖弘

  日本板硝子株式会bp研究開発部

• 日高 猛

  オリンパス株式会社研究開発センター 生産技術本部先進試作部 超精密加工グループ

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