近接場光による非断熱光化学反応を用いた光化学気相堆積と光リソグラフィ

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 2009-11-10

著者

• 川添 忠

  東京大学大学院 工学系研究科電子工学専攻

• 川添 忠

  東京大学大学院工学系研究科電気系工学専攻およびナノフォトニクス研究センター

関連論文

• ナノフォトニクス : 物質の衣をまとった光子とそのデバイスへの応用
• keV領域軟X線高効率多層膜回折格子の開発とその応用
• 近接場光による非断熱光化学反応を用いた光化学気相堆積と光リソグラフィ
• 低消費エネルギーを実現するナノフォトニクス技術
• 11.ナノ領域の光と物質との相互作用を用いた新機能デバイス(ナノデバイス)

スポンサーリンク