高エネルギーイオンビームを用いたナノ・マイクロ構造創製技術とその応用

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概要

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• 応用物理学会の論文
• 2010-03-10

著者

• 神谷 富裕

  独立行政法人日本原子力研究開発機構 高崎量子応用研究所放射線高度利用施設部ビーム技術開発課

• 神谷 富裕

  独立行政法人 日本原子力研究開発機構 高崎量子応用研究所 放射線高度利用施設部

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