不均一なパターン密度においても均一で薄い残膜を形成するナノインプリント手法

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 2009-03-19

著者

• 廣島 洋

  産業技術総合研

関連論文

• 光ナノインプリント技術
• 不均一なパターン密度においても均一で薄い残膜を形成するナノインプリント手法

スポンサーリンク