半導体プロセスへの分子汚染の影響

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 日本空気清浄協会の論文
• 2008-09-30

著者

• 白水 好美

  Necエレクトロニクス

• 白水 好美

  ルネサスエレクトロニクス株式会社 生産本部プロセス技術統括部

関連論文

• 分子汚染の計測
• 半導体ロードマップ委員会(STRJ/ITRS)紹介
• 「半導体LSIクリーン化の現状と将来」概要
• 半導体プロセスへの分子汚染の影響

スポンサーリンク