Effect of Deposition Conditions on the Structure and Properties of CrAlN Films Prepared by Pulsed DC Reactive Sputtering in FTS Mode at High Al Content
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概要
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- Japan Institute of Metalsの論文
- 2008-09-01
著者
-
松田 健二
富山大 工
-
池野 進
富山大学工学部
-
NOSE Masateru
Faculty of Art and Design, University of Toyama
-
KHAMSEH Sara
Graduate School of Science and Engineering, University of Toyama
-
KAWABATA Tokimasa
Graduate School of Science and Engineering, University of Toyama
-
SAIKI Atsushi
Graduate School of Science and Engineering, University of Toyama
-
MATSUDA Kenji
Graduate School of Science and Engineering, University of Toyama
-
TERAYAMA Kiyoshi
Graduate School of Science and Engineering, University of Toyama
-
IKENO Susumu
Graduate School of Science and Engineering, University of Toyama
-
松田 健二
Graduate School Of Science And Engineering For Research University Of Toyama
-
川畑 常真
Graduate School Of Science And Engineering For Research University Of Toyama
-
Matsuda Kenji
Graduate School Of Science And Engineering For Research University Of Toyama
-
Ikeno S
Faculty Of Engineering Toyama University
-
Ikeno Susumu
Graduate School Of Science And Engineering For Research University Of Toyama
-
Ikeno Susumu
Graduate School Of Science & Engineering For Research University Of Toyama
-
Ikeno Susumu
Dept. Materials Science And Engineering Faculty Of Engineering University Of Toyama
-
Ikeno Susumu
Department Of Materials Science And Engineering Faculty Of Engineering University Of Toyama
-
Khamseh Sara
Graduate School Of Science And Engineering For Education University Of Toyama
-
Matsuda K
Department Of Chemistry And Biochemistry Graduate School Of Engineering Kyushu University
-
Nose Masateru
Faculty Of Art And Design University Of Toyama
-
Kawabata Tokimasa
Graduate School Of Science And Engineering University Of Toyama
-
Saiki Atsushi
Graduate School Of Advanced Science Of Matter Hiroshima University
-
Saiki Atsushi
Graduate School Of Science And Engineering University Of Toyama
-
Kamado Shigeharu
Graduate School Of Science And Engineering For Education University Of Toyama
-
Tanaka Katsuyoshi
Graduate School Of Science And Engineering University Of Toyama
-
Matsuda Kenji
Dept. Materials Science And Engineering Faculty Of Engineering University Of Toyama
-
Matsuda Kenji
Faculty Of Engineering Toyama University
-
Kawabata Tokimasa
Graduate School Of Science And Engineering For Research University Of Toyama
-
Matsuda Kenji
Graduate School Of Bio-applications And Systems Engineering Tokyo University Of Agriculture And Tech
-
Terayama Kiyoshi
Graduate School of Science and Engineering for Research, University of Toyama
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