Chemical Bonding Self-Organizations in Non-crystalline Hf Si Oxynitride Dielectrics : Low Direct Tunneling and Defect Levels Comparable to SiO_2

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概要

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• 2007-09-19

著者

• Lucovsky G.

  North Carolina State University

• LEE S.

  North Carolina State University

• SEO H.

  North Carolina State University

• PHILLIPS J.

  Rutgers University

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