3D Device Simulation for Neutron-induced Latch-up in CMOS Devices

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概要

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• 2005-09-13

著者

• Yahagi Y.

  Production Engineering Research Laboratory Hitachi Ltd.

• YAMAGUCHI H.

  Production Engineering Research Laboratory, Hitachi Ltd.

• IBE E.

  Production Engineering Research Laboratory, Hitachi Ltd.

• KAMEYAMA H.

  Renesas Kodaira Semiconductor Co. Ltd

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