A new landing plug formation in a submicron self-aligned contact etching

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概要

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• 2005-09-13

著者

• Lee M.

  Hynix Semiconductor Inc. Memory R&d Div

• Lee S.

  Hynix Semiconductor Inc. Memory R&d Div

• JUNG T.

  Hynix Semiconductor Inc., Memory R&D Div

• LEE D.

  Hynix Semiconductor Inc., Memory R&D Div

• MOON S.

  Hynix Semiconductor Inc., Memory R&D Div

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