Implantation and Annealing Strategies for Ultra-Shallow Junction Formation

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概要

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• 1999-09-20

著者

• Agarwal Aditya

  Eaton Semiconductor Equipment Operations

• GOSSMANN Hans-J.

  Bell Laboratories, Lucent Technologies

• FIORY Anthony

  Bell Laboratories, Lucent Technologies

• Fiory Anthony

  Bell Laboratories Lucent Technologies

• Gossmann Hans-j.

  Bell Laboratories Lucent Technologies

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