半導体製造装置・薄型ディスプレイ製造装置用基板ホルダーの製造方法開発

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概要

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• 軽金属学会の論文
• 2008-03-30

著者

• 渡邊 克己

  古河スカイ株式会社 鋳鍛事業部鋳鍛工場

• 福地 昭

  古河スカイ株式会社 鋳鍛事業部鋳鍛工場

• 大内 昌雄

  古河スカイ株式会社 鋳鍛事業部鋳鍛工場

• 川田 徹

  古河スカイ株式会社

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