P-CVD法で形成したDLC膜の特性に及ぼす熱処理の影響

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概要

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• 日本熱処理技術協会の論文
• 2008-02-28

著者

• 杉本 隆史

  関西大学 化学生命工学部

• 伊藤 誉

  関西大学大学院 工学研究科

• 長井 達哉

  関西大学大学院 工学研究科

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