Coupled distance sensor systems for high-accuracy topography measurement : Accounting for scanning stage and systematic sensor errors

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概要

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• 2006-01-01

著者

• Schulz Michael

  Physikalisch-technische Bundesanstalt Braunschweig

• ELSTER Clemens

  Physikalisch-Technische Bundesanstalt Berlin

• WEINGARTNER Ingolf

  Physikalisch-Technische Bundesanstalt Braunschweig

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