三菱マテリアル(株)四日市工場におけるポリシリコン製造

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概要

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• Yokkaichi plant of Mitsubishi Materials Corporation was established in 1968. The products are high purity polycrystalline silicon (polysilicon) for use in semiconductors. The productivity expanded from 1.5t/M up to 1800t/Y in 40 years. Hydrogen reduction of trichlorosilane on heated silicon rod, commonly called "Siemens process", had progressed at Yokkaichi plant. The outline of the process is described.

• 社団法人 資源・素材学会の論文
• 2007-12-25

著者

• 花上 康宏

  三菱マテリアル(株)総合研究所

• 伊藤 秀男

  三菱マテリアル(株)電子材料カンパニー シリコン事業部

• 武下 臣

  三菱マテリアル(株)四日市工場

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