多極子レンズによる収差補正技術の実用化 : 荷電粒子光学における技術革新

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概要

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• 応用物理学会の論文
• 2007-10-10

著者

• 岡山 重夫

  (独)産業技術総合研究所 エレクトロニクス研究部門

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