Extending CVD Low-k Interlayer Dielectric Solutions to 45nm and Beyond

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概要

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• 2007-07-12

著者

• Nguyen Vu

  Applied Materials Inc.

• Chan Kelvin

  Applied Materials Inc.

• 清水 隆史

  アプライドマテリアルズジャパン(株)

• 岩崎 直之

  アプライドマテリアルズジャパン(株)

• 田畑 篤

  アプライドマテリアルズジャパン(株)

• YIM Kang

  Applied Materials Inc.

• DEMOS Alex

  Applied Materials Inc.

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