CVDプロセスにおける熱流体現象のマルチスケール解析

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 日本トライボロジー学会の論文
• 2007-07-15

著者

• 崎山 幸紀

  カリフォルニア大学 バークレー校 化学工学科

関連論文

• Si(100)極薄酸化表面の熱分解過程
• 5. プラズマ治療・手術(医療バイオ分野へのプラズマ応用)
• カリフォルニア大学バークレー校だより
• CVDプロセスにおける熱流体現象のマルチスケール解析

スポンサーリンク