ArF液浸用レジストのC_<60>イオンビームを用いたXPS深さ方向状態解析

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概要

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• 日本表面科学会の論文
• 2007-07-10

著者

• 山本 清

  旭硝子(株)中央研究所

• 山本 雄一

  旭硝子(株)中央研究所

• 代田 直子

  旭硝子(株)中央研究所

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