Cu電解メッキ膜のシード層依存性

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概要

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• 1998-12-21

著者

• 小林 正人

  シャープ(株)ic事業本部 プロセス開発センター 要素技術開発室

• 粟屋 信義

  シャープ(株)

• 井口 勝次

  シャープ(株)

• 粟屋 信義

  シャープ(株)ic事業本部 プロセス開発センター 要素技術開発室

• 土居 司

  シャープ(株)IC事業本部 プロセス開発センター 要素技術開発室

• 木下 多賀雄

  シャープ(株)IC事業本部 プロセス開発センター 要素技術開発室

• NGUYEN Tue

  SHARP MICROELECTRONICS INC

• 井口 勝次

  シャープ(株)ic事業本部 プロセス開発センター 要素技術開発室

• 土居 司

  シャープ(株)

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