Si上へのZnO圧電薄膜の形成

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概要

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• 1999-11-11

著者

• 浅海 一志

  株式会社日本自動車部品総合研究所

• 伊藤 岳志

  日本自動車部品総合研究所

• 浅海 一志

  日本自動車部品総合研究所

• 松廣 泰

  日本自動車部品総合研究所

• 頼永 宗男

  日本自動車部品総合研究所

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