ポリシリコン薄膜トランジスタのナノ双晶ヒロックの構造解析

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概要

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• 2006-12-20

著者

• 藤本 正之

  静岡大学大学院電子科学研究科

• 小山 弘

  静岡大学大学院電子科学研究科

• 今井 茂樹

  シャープ株式会社

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