高性能ITOスパッタリングターゲットの開発および実用化

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 2006-08-01

著者

• 栗原 敏也

  日鉱金属(株)

• 中島 光一

  日鉱金属(株)

• 関 孝和

  日鉱金属(株)

関連論文

• 高性能ITOスパッタリングターゲットの開発および実用化
• ITOターゲットとインジウム資源

スポンサーリンク