Real-Time TEM Studies of Electromigration in Submicron Aluminum Runners

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概要

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• 1995-08-21

著者

• Hunt A.

  At&t Bell Laboratories

• RIEGE S.

  AT&T Bell Laboratories

• HUNT A.

  AT&T Bell Laboratories

• PRYBYLA J.

  AT&T Bell Laboratories

• Riege S.

  At&t Bell Laboratories

• Prybyla J.

  At&t Bell Laboratories

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