ULSI Technology Evaluation and Precautions : A Novel View of SiO_2 Layer Properties in the nano- and Sub-Nanoscale
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概要
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- 1995-08-21
著者
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Romanov O.
St. -petersburg Univ.
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KOTOV I.
St. -Petersburg Univ.
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LEE Hee-Chul
El. Eng. Dept., KAIST
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Lee Hee-chul
El. Eng. Dept. Kaist