AFM Direct Measurement of Sidewall Roughness in GaAs/AlGaAs Waveguides
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 1996-08-26
著者
-
Hiruma K.
Central Research Laboratory Hitachi Ltd.
-
HOSOMI K.
Central Research Laboratory, Hitachi, Ltd.
-
SHIRAI M.
Central Research Laboratory, Hitachi, Ltd.
-
SHIGETA J.
Central Research Laboratory, Hitachi, Ltd.
-
KATSUYAMA T.
Central Research Laboratory, Hitachi, Ltd.
-
Shigeta J.
Central Research Laboratory Hitachi Ltd.
-
Hosomi K.
Central Research Laboratory Hitachi Ltd.