Process Technology for Reliable SOI DRAM
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概要
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- 1996-08-26
著者
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Park K-c
Semiconductor R&d Center Samsung Electronics Co. Ltd.
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Shim T-e
Semiconductor R&d Center Samsung Electronics Co. Ltd.
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PARK J-W
Semiconductor R&D Center, Samsung Electronics Co., LTD.
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Park J-w
Semiconductor R&d Center Samsung Electronics Co. Ltd.