Substrate Characteristics of Nanocleave SOI Wafers

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概要

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• 2000-08-28

著者

• Henley F.

  Silicon Genesis Corporation

• Kirk H.

  Silicon Genesis Corporation

• Malik I.

  Silicon Genesis Corporation

• BEDELL S.

  Silicon Genesis Corporation

• KOROLIK M.

  Silicon Genesis Corporation

• KANG S.

  Silicon Genesis Corporation

• CURRENT M.

  Silicon Genesis Corporation

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