The Vertical Replacement-Gate (VRG) MOSFET : A High-Performance Vertical MOSFET with Lithography-Independent Critical Dimensions

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概要

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• 2000-08-28

著者

• Monroe Don

  Bell Laboratories Lucent Technologies

• HERGENROTHER Jack

  Bell Laboratories, Lucent Technologies

• Hergenrother Jack

  Bell Laboratories Lucent Technologies

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