Copper Interconnects for Advanced Logic and DRAM

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概要

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• 1998-09-07

著者

• Ryan James

  Ibm Microelectronics Srdc

• BRONNER Gary

  IBM Microelectronics, SRDC

• HUMMEL John

  IBM Microelectronics, SRDC

• THEIS Thomas

  IBM Research, T. J. Watson Research Center

• Hummel John

  Ibm Microelectronics Srdc

• Bronner Gary

  Ibm Microelectronics Srdc

• Theis Thomas

  Ibm Research T. J. Watson Research Center

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