Through-the-Gate Implanted (TGI) CMOS Technology with Advanced Shallow Trench Isolation

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概要

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• 1998-09-07

著者

• Schon P.

  Siemens Semiconductor Division

• SCHWALKE U.

  Siemens Corporate Technology

• FULDNER M.

  Siemens Corporate Technology

• ZATSCH W.

  Siemens Corporate Technology

• BOTHE K.

  Siemens Semiconductor Division

• HADAWI D.

  Siemens Semiconductor Division

• JANSSEN I.

  Siemens Semiconductor Division

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