Sub-0.25μm Devices and 16K SRAM with Selective-Epi Source/Drain on Ultra-Thin SOI

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概要

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• 1997-09-16

著者

• Faynot O.

  Leti (cea/grenoble)

• Faynot O.

  Leti (cea-grenoble)

• RAYNAUD C.

  LETI (CEA/Grenoble)

• PELLOIE JL.

  LETI (CEA-Grenoble)

• MARGAIL J.

  LETI (CEA-Grenoble)

• FERLET V.

  CEA Bruyeres le Chatel

• QUEMENEUR A.

  CEA Bruyeres le Chatel

• WESTHOFF R.

  LSRL

• ROBINSON McD.

  LSRL

• Raynaud C.

  Leti (cea-grenoble)

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