LPCVD法によるB/C/N系層状化合物薄膜の作製

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概要

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• 2006-01-27

著者

• 河野 貴典

  東洋炭素(株)技術開発本部技術開発部 基礎研究開発グループ

• 河野 貴典

  大阪電気通信大学

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