DC and RF Fluorocarbon (C_7F_<16>) Discharges and CFx Film Deposition

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概要

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• 1999-09-08

著者

• Lungu A.

  Hokkaido University

• Lungu C.

  Hokkaido University

• SAKAI Y.

  Hokkaido University

• SUGAWARA H.

  Hokkaido University

• TABATA M.

  Hokkaido University

• MIYAMOTO M.

  Fuji Electric

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