次世代パワーデバイス用材料 : 超高品質炭化ケイ素単結晶

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概要

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• 日本化学会の論文
• 2005-08-01

著者

• 中村 大輔

  (株)豊田中央研究所

• 中村 大輔

  (株)豊田中央研究所無機材料研究室

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