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炭化物及び炭化物/アルミナ系セラミックスのプロセッシングと***ージョン
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2005-07-10
著者
佐藤 仁俊
(独)物質・材料研究機構 ナノセラミックスセンター
佐藤 仁俊
(独)物質・材料研究機構 物質研究所 プラズマプロセスグループ
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