Thinner SOI Using Plasma Hydrogenation

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概要

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• 2001-09-25

著者

• Carr W.

  Hagen University

• USENKO A.

  Silicon Wafer Technologies Inc.

• ULYASHIN A.

  New Jersey Institute of Technology

• FAHRNER W.

  New Jersey Institute of Technology

• FRANTSKEVICH A.

  Belarussian State Polytechnic Academy

• JOB R.

  New Jersey Institute of Technology

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