窒素大気圧グロー放電プラズマと化学気相蒸着法への応用

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 2005-02-20

著者

• 福田 和浩

  コニカミノルタテクノロジーセンター(株)nct開発センター

• 齋藤 篤志

  コニカミノルタテクノロジーセ 生産技研

• 末富 英一

  コニカミノルタテクノロジーセンター(株)NCT開発センター

• 辻 稔夫

  コニカミノルタテクノロジーセンター(株)NCT開発センター

• 深沢 孝二

  コニカミノルタテクノロジーセンター(株)NCT開発センター

• 西脇 彰

  コニカミノルタテクノロジーセンター(株)NCT開発センター

• 福田 和浩

  コニカミノルタテクノロジーセ Nct開セ

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