超大型高純度石英ルツボの開発と製品化

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概要

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• 2004-08-01

著者

• 佐々木 丈夫

  ジャパンスーパークォーツ(株)秋田事業所

• 神田 稔

  Japan Super Quartz Corp.

• 麓 直隆

  Japan Super Quartz Corp.

• 辻 義行

  Japan Super Quartz Corp.

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