センサ・マイクロマシンの国際標準化動向
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概要
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The importance and methodology of international standardization were introduced. The present situation of the specific standardization items such as semiconductor pressure sensors, Hall elements, semiconductor accelerometers, micromachine terminology, micromachine material evaluation methods were described.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2004-07-01
著者
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