EUVL用レーザー生成プラズマ光源の開発

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 2004-09-10

著者

• 小森 浩

  技術研究組合極端紫外線露光システム技術開発機構 研究部平塚研究室

• 小森 浩

  技術研究組合 極端紫外線露光システム技術開発機構 平塚研究開発センタ

関連論文

• 高繰り返し高平均出力極端紫外光源用レーザー
• EUVAにおけるEUV光源開発計画
• リソグラフィ用レーザー生成プラズマ極端紫外光源
• EUVL用レーザー生成プラズマ光源の開発
• 半導体製造用リソグラフィ用光源の最新動向とコマツエキシマレ-ザの性能
• 02aB22P XeレーザプラズマEUV光源の高速イオン緩和技術の開発(プラズマ応用)

スポンサーリンク