非線形誘電率顕微鏡による半導体試料のキャパシタンス測定

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 日本表面科学会の論文
• 2004-05-10

著者

• 蓮村 聡

  エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社

• 渡辺 和俊

  ナノ機能合成技術プロジェクト研究体研究コンソーシアム

• 安藤 和徳

  ナノ機能合成技術プロジェクト研究体研究コンソーシアム

• 横山 浩

  ナノ機能合成技術プロジェクト研究体研究コンソーシアム

• 倉持 広実

  ナノ機能合成技術プロジェクト研究体研究コンソーシアム

• 蓮村 聡

  SIIナノテクノロジー

関連論文

• 直交2軸電磁石型磁場印加MFMの開発と磁区構造解析への応用
• 磁性材料のナノスケール計測技術 : カーボンナノチューブMFMとスピンエレクトロニクスへの展開
• 高湿度雰囲気下でのプローブ顕微鏡によるサブピコアンペア微小電流計測
• 非線形誘電率顕微鏡による半導体試料のキャパシタンス測定

スポンサーリンク