半導体シリコンウェーハの超大口径化への挑戦

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 応用物理学会の論文
• 2004-05-10

著者

• 高田 清司

  信越半導体(株)

関連論文

• スーパーシリコン研究所におけるφ400mm大口径シリコンウェーハの開発 : 官民共同開発コンソーシアムの意義 : 招待講演
• 半導体シリコンウェーハの超大口径化への挑戦

スポンサーリンク