酒石酸-過酸化水素溶液系におけるGaAsの化学エッチング挙動とメカニズム
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概要
著者
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梅村 園子
Mitsubishi Electric Corporation Advanced Technology R&d Center
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河瀬 和雅
Mitsubishi Electric Corporation Advanced Technology R&d Center
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執行 和浩
Mitsubishi Electric Corporation Advanced Technology R&d Center