トリクロロシラン
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概要
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トリクロロシランは, 無機材料化学の分野では半導体用高純度シリコンの原料として, 有機材料化学の分野ではシランカップリング材料の原料として極めて重要なケイ素化合物である。本稿では, トリクロロシランの従来の用途に加えて, ファインケミカル分野における用途展開について紹介する。
- 社団法人 有機合成化学協会の論文
- 2001-10-01
トリクロロシランは, 無機材料化学の分野では半導体用高純度シリコンの原料として, 有機材料化学の分野ではシランカップリング材料の原料として極めて重要なケイ素化合物である。本稿では, トリクロロシランの従来の用途に加えて, ファインケミカル分野における用途展開について紹介する。