スパッタ条件がシリコン基板上のチタン薄膜の微細組織に及ぼす影響
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概要
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- 2003-12-20
著者
-
佐々木 元
広島大学大学院工学研究科
-
松木 一弘
広島大学大学院工学研究科
-
柳澤 平
広島大学大学院工学研究科
-
姚 力軍
ハネウェル・エレクトロニク・マテリアルズ・ジャパン株式会社
-
小野 綾一
広島大学大学院工学研究科機械システム工学専攻
-
佐々木 元
広島大
-
松木 一弘
広島大学大学院工学研究院材料・生産加工部門
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