高分子フィルム基板機能性薄膜の黎明期をかえりみて

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 2003-12-20

著者

• 側島 重信

  帝人(株)薄膜材料研究所

• 側島 重信

  帝人(株)構造解析センター

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