フッ化マグネシウムのスパッタに関する成膜速度の安定化

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 2003-08-20

著者

• 川俣 健

  オリンパス光学工業(株)

• 川俣 健

  オリンパス光学工業(株) 光学技術部オリンパス光学工業(株)光学技術部

• 出口 武司

  オリンパス光学工業(株) 光学技術部オリンパス光学工業(株)光学技術部

• 川俣 健

  オリンパス

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